旋轉(zhuǎn)機(jī)械臂VRS-152真空光學(xué)SHINKU廠家

旋轉(zhuǎn)機(jī)械臂VRS-152真空光學(xué)SHINKU廠家

旋轉(zhuǎn)機(jī)械臂VRS-152，VRS-114，VRS-70，VRS-203，VRS253Ⅱ

型號(hào)：VRS-152

規(guī)格

全高：70mm

內(nèi)徑：Φ102mm

超高真空對(duì)應(yīng)法蘭：ICF120FT

旋轉(zhuǎn)：360°手動(dòng)或馬達(dá)驅(qū)動(dòng)

分辨率：手柄1圈2°(手動(dòng)式）

差動(dòng)排氣部：ICF34FT

耐負(fù)荷：11KN

自重：6.0kg

泄漏量：1×10^（-10）Pa m^3/sec以下

直線旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入機(jī)VL-600，VLR-34,KTL-500,KTL-750,KTL-1000

本機(jī)是為多室構(gòu)成的超高真空裝置的樣品移動(dòng)而開發(fā)的，使用磁鐵的樣品移送機(jī)。

采用放置在真空系統(tǒng)內(nèi)的磁性在真空內(nèi)傳遞傳遞驅(qū)動(dòng)力的簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)，與使用膠體的方式相比，脫氣非常少，可以使樣品平移和旋轉(zhuǎn)。

另外，通過(guò)*的磁電路組合方式，可以獲得足能夠的驅(qū)動(dòng)力。

規(guī)格

平行移動(dòng)（Line）

旋轉(zhuǎn)（Rotation）

平行移動(dòng)及旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)：帶刻度、限位器

行程：可制作150mm～1300mm

連接法蘭：ICF70（ICF14/152也制作。）

容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下

本產(chǎn)品可能會(huì)因改良而改變。