CC2000S氣缸柜TOYOKOKAGAKU東橫化學

CC2000S氣缸柜TOYOKOKAGAKU東橫化學

氣缸柜CC2000S,SEMI,BSGS；氣體箱VMB,VMP

氣缸柜CC2000S的4大基本原則

保持高純度氣體質(zhì)量：為了應對以半導體制造工廠為代表的高純度品質(zhì)的需求，我們通過嚴選零部件和配管等材料，實現(xiàn)了高品質(zhì)氣體的供應。

以安全為設計理念：針對有毒、易爆等高危氣體的安全供應，我們根據(jù)每種氣體的物理特性進行設計。

設計時考慮到穩(wěn)定的供應：針對24小時365天不間斷供應系統(tǒng)的需求，我們根據(jù)應對各種可能出現(xiàn)的問題的豐富經(jīng)驗，設計出穩(wěn)定的供應。

減少環(huán)境負荷：我們正在實施不僅在日本而且在海外都受到重視的節(jié)能和低環(huán)境負荷措施。

氣體面板/氣體箱 (VMB/VMP)特征：

根據(jù)您的要求設計系統(tǒng)。

獨立控制系統(tǒng)包括控制系統(tǒng)。

遵守法律法規(guī)，應對各種應用。

小尺寸到大尺寸可選。

氦氣（He）回收設備特征：

可進行高精度濃度控制，回收的氦（He）混合氣體可調(diào)整至規(guī)定的氦（He）濃度并穩(wěn)定供給。

不受排氣條件影響的系統(tǒng)，該系統(tǒng)可以應對連續(xù)排氣和間歇排氣，可以構(gòu)建與客戶生產(chǎn)系統(tǒng)相匹配的回收系統(tǒng)。

對應各種廢氣成分：可去除油分、水分、金屬、生成氣體等雜質(zhì)，提高純度。我們將在分析廢氣后設計系統(tǒng)。

通過選擇最合適的設備來壓縮和精煉長壽命氦 (He) 氣，該系統(tǒng)限度地降低了消耗成本。

現(xiàn)場供應，我們還可以處理管理回收設備并供應濃度調(diào)整后氣體的商業(yè)模式。

回收率為90%以上，系統(tǒng)的設計限度地減少了廢氣，從而實現(xiàn)了高產(chǎn)率。也可以追加對工件內(nèi)部的氦（He）混合氣體進行排氣的功能。

按減排設備用途分類：

1.生產(chǎn)設備減排設備: 生產(chǎn)設備廢氣處理。

2.C/C VENT減排設備: 鋼瓶更換過程中的殘余氣體處理。

3.應急減排設備: 供應設備漏氣時應急。

氣體檢測儀是一種監(jiān)測可燃氣體和有毒氣體泄漏的設備。從氣體制造商的角度，我們將考慮安裝工作、I/L 提案等，例如防止泄漏的安全措施。