東京精密ACCRETECH拋光機PG3000RMX拋光機PG3000RMX；高剛性磨床HRG3000RMX,HRG300,HRG300A,HRG200X
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東京精密ACCRETECH拋光機PG3000RMX
東京精密ACCRETECH拋光機PG3000RMX
拋光機PG3000RMX；高剛性磨床HRG3000RMX,HRG300,HRG300A,HRG200X
PG3000RMX特征：
除了“PG300/PG200"工藝之外，還實現(xiàn)了從薄化晶圓上貼附的表面保護膠帶剝離到將晶圓貼附到切割框上的工藝，在一臺設備中實現(xiàn)。
粗磨、精磨、拋光工序用一臺設備實現(xiàn)晶圓的雙面清洗。無需使用化學品即可去除受損層。不會因濕法工藝而產(chǎn)生粉塵。
數(shù)據(jù)管理和通信，包括與傳輸機制一致的RM模塊，以限度地減少薄晶圓傳輸?shù)臄?shù)量。
高剛性磨床HRG3000RMX特征：
實現(xiàn)短時間內(nèi)無損傷加工。加工成本低。高精度加工。達到鏡面效果。
高剛性磨床HRG300/HRG300A特征：
通過將加工點配置在三角形排列的滑動導軌的中心位置，并將橫向進給進給軸配置在加工點上，具有對磨削負荷的機械變形小的結(jié)構(gòu)。
由于其高剛性，它可以在短時間內(nèi)加工，同時抑制磨削損傷。
由于其高剛性，可以進行適當?shù)淖凿J性加工。延長砂輪的使用壽命。
配備用于批處理的過程中測量儀，在批處理過程中測量晶圓厚度。
全自動高剛性二軸磨床HRG200X特征：
實現(xiàn)短時間內(nèi)無損傷加工。
加工成本低。
高精度加工。
達到鏡面效果。
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